热门搜索:

物理材料分析 | 物理材料分析 | 物理材料分析 | 物理材料分析

检测标准

培训评价

新闻详细

当前位置:网站首页 > 培训资讯 > PVD制程所用的靶材需要检验哪些项目

PVD制程所用的靶材需要检验哪些项目

信息来源:   发布时间: 2016/9/26   浏览次数:

PVD制程所用的靶材需要检验哪些项目
 1.靶材的纯度,可以用化学分析法、光谱能量测定法等方法检验;
 2.晶粒度:要求晶粒越细小越好。而且晶粒要尽可能均匀一致。可以用光学显微镜检验;
 3.密度:原则上,靶材的密度越高越好。密度越高,晶粒间隙越小,压制紧密,靶材质量越好。可以用称量法检验;
 4.组织均匀性:对于两种成份以上的合成靶,特别是相互难融的成分,还可以做金相检验,看成分、组织是否均匀一致;
 5.机械性能:有些靶材,如有色金属等可以要求一下。石墨靶,高级一点的,也有该要求。检验用专门的机械性能试验机。
  具体密度值,要查相应手册啦。一般供应商也会提供。